Кремниевые слитки
Кремниевые слитки широко используются в микроэлектронике.
Кремниевые слитки изготавливаются диаметром от 2 до 8 дюймов.
| Параметры | Значения |
| Метод выращивания | CZ |
| Тип / лег. примесь | N-тип /Фосфор, Сурьма, Мышьяк; P-тип /Бор |
| Диаметр | от 2″ (50мм) – до 8 (200мм) |
| Ориентация | (100), (111), (110) |
| У.Э.С. | 0,001 – 140 Ом*см |
| Содержание кислорода | стандартно 10*1017ат/см3(20ppma) (по указанию заказчика (7-9)*1017ат/см3(14-18 ppma) |
| Содержание углерода | стандартно 10*1016ат/см3(2ppma) по указанию заказчика 5*1016ат/см3(1ppma) |
| Плотность дислокация | 10см-2 |
Похожие товары
