Кремниевые пластины

Артикул:
459
Производитель:
Пролог Семикор
Цена по-запросу
Доставка по России и странам ЕАЭС
Варианты оплаты
В наличии

Кремниевые пластины широко используются в микроэлектронике.

Кремниевые пластины изготавливаются диаметром от 2″ до 6″, основные параметры электронного качества соответствуют стандарту SEMI M1-00.

Технические характеристики
Параметры Значения
Тип / лег. примесь N-тип /Фосфор, Сурьма, Мышьяк. P-type /Бор
Диаметр 50.8мм, 76.2мм, 100мм, 125мм, 150мм
Точность диаметра минимум ±0,3мм, стандартно ±0,5мм
Ориентация (100), (111), (110)
У.Э.С. 0,001 – 140 Ом*см
Отклонение толщины
от номинала в партии
  • диаметр 50,8 мм
  • диаметр 76,2 мм
  • диаметр 100 мм
  • диаметр 125 мм
  • диаметр 150 мм
 минимальное:
5 мкм
5 мкм
5 мкм
8 мкм
15 мкм		 стандартное:
10 мкм
10 мкм
15 мкм
15 мкм
20 мкм
Прогиб:
  • диаметр 50,8мм
  • диаметр 76,2мм
  • диаметр 100мм
  • диаметр 125мм
  • диаметр 150мм
 минимальное:
20 мкм
25 мкм
30 мкм
35 мкм
50 мкм		 стандартное:
25 мкм
30 мкм
35 мкм
40 мкм
60 мкм
Поверхность резанная, шлифованная, травленная, одно и двухсторонне полированная
Содержание кислорода стандартно 10*1017ат/см3(20ppma) по указанию заказчика (7-9)*1017ат/см3(14-18 ppma)
Содержание углерода стандартно 10*1016ат/см3(2ppma) по указанию заказчика 5*1016ат/см3(1ppma)

Спец-Импорт © 2025